国内半导体设备招投标月度数据跟踪第4期2021年10月：中微公司干法刻蚀

国内半导体设备9 月招投标数据国内晶圆厂商招标数据:

中芯国际:PVD+5 台，干法刻蚀+2 台，前道检测+3 台，退火+3 台，后道测试机+9 台，后道封装+30 台，

华虹半导体:EPI+1 台，干法刻蚀+1 台，湿法清洗+1 台，后道测试机+1 台，华力微电子:干法刻蚀+1 台，前道计量+2 台，长江存储:CVD+22 台，ALD+1 台，ECP+2 台，干法刻蚀+24 台，前道计量+13台，湿法清洗+9 台，去胶+7 台，化学机械研磨+6 台，退火+2 台，后道测试机+8 台，后道分选机+6 台，后道封装+2 台，

上海积塔半导体:干法刻蚀+1 台，湿法刻蚀+1 台，湿法清洗+1 台，去胶+1 台，涂胶显影+4 台，离子注入+2 台，氧化扩散+2 台，后道封装+1 台，上海新微:前道检测+2 台，后道测试机+1 台，上海新硅聚合:CVD+1 台，

比亚迪半导体:后道分选机+11 台，后道封装+38 台，福建晋华:前道检测+1 台，后道测试机+2 台，国内设备厂商中标数据:

北方华创:PVD+1 台，CVD+1 台，干法刻蚀+1 台，热处理设备+2 台，中微公司:干法刻蚀+10 台，

芯源微:去胶+1 台，涂胶显影+5 台，

盛美半导体:湿法刻蚀+1 台，湿法清洗+1 台，沈阳拓荆:CVD+1 台，

上海微电子:退火+3 台，

华海清科:化学机械研磨+6 台，

屹唐半导体:干法刻蚀+1 台，去胶+7 台，

中科飞测:前道检测+2 台，前道计量+2 台，

投资建议:建议关注半导体设备投资标的:上市公司有北方华创，中微公司，华峰测控，芯源微，至纯科技，长川科技，华兴源创，盛美半导体，精测电子，万业企业，晶盛机电，光力科技，ASM Pacific，非上市公司有屹唐半导体，华海清科，沈阳拓荆，上海微电子，睿励科学仪器，东方晶源。

风险分析:国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。立昂微股价重挫也直接影响了整个A股半导体板块行情。Wind数据显示，截至收盘，半导体设备指数大跌5%，半导体硅片指数，中芯国际(行情688981，诊股)产业链，晶圆产业指数，IGBT指数，第三代半导体指数，半导体封测指数全天均跌逾3%。。

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